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オージェ電子分光分析装置(FE-AES)

オージェ電子分光分析装置(AES)
基本仕様
機種 JAMP-9500F(日本電子)
加速電圧 0.5~30kV
プローブ電流 10-11~2×10-7A(ショットキー電界放出形(FE)電子銃)
オージェ分析時のプローブ径 8 nm(25 kV、1 nA)
分析エネルギー範囲 0~2,500 eV
エネルギー分解能 0.05~0.6%
エネルギー分光器 同心半球形静電アナライザ(HSA)

装置の説明

オージェ電子分光分析装置(FE-AES)とは、電子線などを固体表面に照射したときに放出されるオージェ電子のエネルギーと強度を測定することにより、固体表面の元素分析を行うものである。数10nmの表面領域での元素分析が可能であり、深さ方向分析から線分析、面分析(元素マッピング)や状態分析などができる。おもな測定対象は、金属、半導体、薄膜材料である。