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オージェ電子分光分析装置(FE-AES):詳細(利用者向け)

オージェ電子分光(Auger electron spectroscopy; AES)分析装置とは、電子線などを固体表面に照射したときに放出されるオージェ電子のエネルギーと強度を測定することにより、固体表面の元素分析をしようとするものである。

本装置は、電子線を用いた微小領域表面分析装置として数10nm領域での元素分析が可能であり、イオンガンを併用した深さ方向分析から線分析、面分析(元素マッピング)や状態分析などができる。

NiCr合金の表面分析

NiCr合金の表面をアルゴンイオン(Ar+)でスパッタリングし、清浄化した後にオージェスペクトルを取得した結果を図1に示す。これらの結果から、本合金にはニッケル(Ni)とクロム(Cr)と共に微量のケイ素(Si)を含有していることがわかる。


図1:NiCr合金のオージェスペクトル
(a)生データ (b)微分スペクトル

SiO2/Si薄膜の深さ方向分析

シリコン(Si)基板上に形成された膜厚100nmの酸化膜(SiO2)の深さ方向分析を図2に示す。その結果、スパッタリング率は25nm/minであることが明らかとなった。


図2:SiO2/Si薄膜の深さ方向分析