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電子プローブマイクロアナライザー(FE-EPMA)

電子プローブマイクロアナライザー(EPMA)
基本仕様
機種 JXA8530F(日本電子)
高加速電圧 1~30kV
二次電子分解能 3nm(WD:11mm、30kV)
分析元素範囲 波長分散型分光器(WDS):Be~U
エネルギー分散型分光器(EDS) B~U
X線分光器数 WDS:3基
SDD型EDS:2基

装置の説明

電子プローブマイクロアナライザー(FE-EPMA)は固体表面に電子線を照射し、二次電子や反射電子などによる像観察と同時に、試料から発生する特性X線を検出して、構成元素とその量を測定することができる。金属、半導体、セラミックス、鉱物、材料などの定量分析、定性分析、さらに線分析、面分析、相分析ができる。自動車産業、半導体産業、高分子・金属材料産業、電子機器産業、高分子材料などに適用可能である。