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電子プローブマイクロアナライザー(FE-EPMA):詳細(活用事例)

電界放出型(FE)電子銃と波長分散型分光器を用いることにより、SEM-EDXによる元素分析よりも、高精度の定性分析、定量分析を行なうことができます。また、ビームあるいは試料台を移動させることによって、2次元の元素濃度分布(面分析)を調べることができます。

面分析例

下図は、鋼板中に存在する非金属介在物を調べた例です。数ミクロン大の介在物が、面分析(ビームスキャン)することにより、アルミナ(Al2O3)を中心部にもつ硫化マンガン(MnS)からできていることが分かります。
((有)超音波材料診断研究所のトライアルユースによる成果から)


分析視野の反射電子像(×10,000)


カラーマップデータ