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電子プローブマイクロアナライザー(FE-EPMA):詳細(利用者向け)

電子プローブマイクロアナライザー(electron probe micro analyzer; EPMA)は固体表面に電子線を照射し、二次電子や反射電子などによる像観察と同時に、試料発生する特性X線を検出して、構成元素とその量を測定することができる。

特性X線は、波長分散型分光器(wavelength dispersive X-ray spectrometer; WDS)やエネルギー分散型分光器(energy dispersive X-ray spectrometer; EDS)によって検出する。固体試料表面Be~Uまでの範囲の元素を検出できる。また導電性がないものは、帯電を防ぐため試料表面に数nm~数十nmのカーボン蒸着を行い、導電性をもたせる。

面分析ではミクロ領域から最大90mm角のマクロ領域まで最小0.02µm単位のマイクロステップのマッピングが可能である。WDSは軽元素の検出感度がよく、優れた波長分解能、高精度の定量、定性が行える。またEDSは多元素同時分析と短い時間で分析を行えることができる。このように両者の利点を生かし組み合わせて効率的なデータ収集を行うことができる。


図:反射電子組成像とWD/EDコンバインカラーマップ
(試料:玄武岩)
データ提供:日本電子株式会社