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X線光電子分光装置(ESCA)

X線光電子分光装置(ESCA)
基本仕様
機種 PHI5000、(アルバックファイ)
X線源 単色化Alアノード
スポットサイズ 10µm~100µm±10µm
取り出し角度 45度
検出器 静電半球型エネルギーアナライザー
マルチチャンネルディテクタ
エネルギー分解能 0.5eV(Ag3d 5/2)
結合エネルギー分析範囲 0~1400eV
深さ分析(イオンソース) Arイオン銃、C60イオン銃
帯電中和 低エネルギー電子とイオンの同時照射
分析位置を特定 SXI(Scanning X-ray Image)
多点分析 5軸(X、Y、Z、Tilt、Rotation)モータ駆動

装置の説明

X線光電子分光装置(ESCA)とは、試料にX線を照射して、その表面から放出される光電子を測定することで、固体表面の構成元素の組成、化学結合状態を調べるものである。深さ方向分析、面分析、線分析ができ、高真空中で固体であればその形状は板状、棒状、粉末と特に問わない。太陽電池材料、熱電変換材料、水素吸蔵材料、水素透過材料、カーボンナノチューブ、電子材料、セラミックスのように広範囲に適用可能である。