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X線光電子分光装置(ESCA):詳細(活用事例)

材料の表面(約10nm)を測定し、表面の構成元素や化学結合状態を知ることができます。

元素分析例

図1は、電気化学的手法により作製された新規不動態被膜の構成元素を明らかにするために、Arイオン照射によるスパッタを併用することにより、表面から深さ方向への組成を調べた例です。ピーク位置からニッケル(Ni)、鉄(Fe)、クロム(Cr)等が含まれていることが分かります。
((株)ケミカル山本のトライアルユースによる成果から)



図1:新規不動態膜試料の深さ方向へのワイドスキャン測定
(横軸は結合エネルギー、縦軸は光電子のカウント数。手前が表面側)

化学結合状態分析例

図2は、図1と同じ試料に対し、化学結合状態を調べるために、クロム(Cr2p)のスペクトルを取得し波形解析した例です。結合エネルギーの位置(ケミカルシフト量)から、新規不動態被膜ではクロム化合物(Cr2O3あるいはクロム錯体)が形成されていることを示しています。
((株)ケミカル山本のトライアルユースによる成果から)


図2:新規不動態膜試料の Cr2p スペクトル