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X線光電子分光装置(ESCA):詳細(利用者向け)

各元素で現れるピークはデータベースより事前に調べることはできる。複数の元素が存在している場合はそれぞれに元素についてピークが現れ、反応している場合は、現れるピークの位置が変わったり、形が変わったりする。これを利用してサンプルの状態を同定することが可能となる。

この図は、金(Au)の定性分析結果である。ピークの位置と高さの比から金と同定される。

金(Au)の定性分析結果

下図は、アルミ箔の分析結果である。72.5eVのピークは純粋なアルミニウムのピークを表し、75eVのピークはアルミニウムの酸化物(Al203)を示している。

アルミ箔の分析結果