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電界放出形走査電子顕微鏡
(FE-SEM)

電子線を試料表面に照射し、跳ね返ってきた電子を検出して試料を観察する。これによって試料の表面観察、定量分析、定性分析,線分析、面分析、相分析ができる。

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)詳細

ナノ走査プローブ顕微鏡(SPM)

プローブ(探針)を試料に近づけて電子や原子間力を検出し、ナノスケールで構造を観察する顕微鏡である。

ナノ走査プローブ顕微鏡(SPM)詳細

電子プローブマイクロアナライザー(FE-EPMA)

固体表面に電子線を照射し、二次電子や反射電子などによる像観察と同時に、試料から発生する特性X線を検出して、構成元素とその量を測定することができる。

電子プローブマイクロアナライザー(EPMA)詳細

オージェ電子分光分析装置
(FE-AES)

電子線などを固体表面に照射したときに放出されるオージェ電子のエネルギーと強度を測定することにより、固体表面の元素分析を行うものである。

オージェ電子分光分析装置(AES)詳細

二次イオン質量分析装置(SIMS)

イオンを試料に衝突させて、表面の元素をはじき飛ばしてその質量を検出するものである。これにより試料の構成元素を調べることができる。

二次イオン質量分析装置(SIMS)詳細

X線光電子分光装置(ESCA)

試料にX線を照射して、その表面から放出される光電子を測定することで、固体表面の構成元素の組成、化学結合状態を調べるものである。

X線光電子分光装置(ESCA)詳細

レーザー脱離イオン化質量分析装置(MALDI-MS)

有機高分子試料などの分子量や化学構造に関する情報が得られます。

二次イオン質量分析装置(SIMS)詳細

X線CT装置(XCT)

対象物に様々な方向からX線を照射して得られたデータをコンピュータで処理することにより、三次元画像を作成します。

X線光電子分光装置(ESCA)詳細

軟X線分析装置(SXES)

熱電子放出方式の電子線源と、軟X線領域に検出感度の高い分光器を有した元素分析装置です。

軟X線分析装置(SXES)詳細

飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)

表面と吸着する原子状及び分子状の物質を静的に表面から引き離し、その分子量を同定します。

飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)詳細

低加速電界放出形走査電子顕微鏡(L-FE-SEM)

表面の高倍率の形態観察、EDSによる元素の定性、定量、面分析ができます。

低加速電界放出形走査電子顕微鏡(L-FE-SEM)詳細