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低加速電界放出形走査電子顕微鏡(L-FE-SEM)

低加速電界放出形走査電子顕微鏡(L-FE-SEM)
基本仕様
機種名 JSM-7800F(日本電子)
解能 0.8nm(15kV)
1.2nm(1kV)
3.0nm(15kV、5nA、WD10mm)
倍率 ×25~×1,000,000(SEM)
加速電圧 0.01kV~30kV
試料照射電流(プローブ電流) 数pA~200nA
開き角自動最適化レンズ 組込み
検出器 上方検出器(UED)
下方検出器(LED)
エネルギーフィルター UEDフィルター電圧可変機能組込み
ジェントルビーム(試料バイアス) 組込み
デジタル画像 1,280×960画素、800×600画素
試料交換室 TYPE2Aを構成
試料ステージ フルユーセントリックゴニオメーター、5軸モーター駆動
X-Y X:70mm、Y:50mm
傾斜 -5~+70°
回転 360°
作動距離 2mm~25mm
排気系 SIP 2台、TMP、RP
省エネ設計 定常稼働時:1.3kVA
省エネルギーモード時:0.8kV

装置の説明

表面の高倍率の形態観察、EDSによる元素の定性、定量、面分析ができます。極低加速(10eV以上)の電子線を使った観察も可能で、電子線照射に弱い有機系や生物系の材料も、高倍率で形態情報や組成情報が得られます。カソードルミネッセンスの測定機能もあり、局所領域の発光特性評価が可能です。