装置一覧

HOME > 装置一覧 > 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)
基本仕様
機種 JSM-7001F、(日本電子)
加速電圧 0.5~30kV
分解能 1.2nm(30kV)、3.0nm(1kV)
付属装置 エネルギー分散型分光器(EDS)、結晶方位解析システム(EBSD)

装置の説明

電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)は電子線を試料表面に照射し、跳ね返ってきた電子を検出して試料を観察する。これによって試料の表面観察、定量分析、定性分析、線分析、面分析、相分析ができる。FESEMでは固体であれば、金属、半導体、セラミックス、鉱物、生体材料などほとんどの試料観察ができる。自動車産業分野、半導体産業、電子機器産業、航空宇宙産業などに適用可能である。