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電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM):詳細(利用者向け)


図:反射電子像
(試料:塩と砂糖の混合物)
データ提供:日本電子株式会社

電界放出型走査電子顕微鏡(field emission scanning electron microscope; FE-SEM)は電子線を試料表面に照射し、跳ね返ってきた電子を検出して試料の凹凸を観察する。FE-SEMの倍率は10~100万倍であり、分解能は数nmである。電子を検出器で検出し、その電子の量を走査位置での明るさとして像を得る。飛びだしてくる電子の量は試料の凹凸と組成に依存する。

試料の組成像は試料の平均原子番号(または密度)に依存しているため、重元素がある部分では明るく、軽元素が多くある部分は暗い像が得られる。

FESEMでは固体ならほとんどの試料は観察ができる。試料は真空中に置かれるため、揮発性のものは乾燥させる必要がある。電子線を照射するので電子によっては試料表面が帯電することが起こりやすく、絶縁体試料には炭素、白金、金、オスミウムなどを薄くコーティングする。