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二次イオン質量分析装置(SIMS)

二次イオン質量分析装置(SIMS)
基本仕様
機種 SIMS-4000、(ATOMICA)
一次イオン 酸素(加速電圧 5kV – 12kV)
被測定物 固体、大きさ 7mm × 7mm 厚さ1mm程度

装置の説明

二次イオン質量分析法(SIMS)とは、イオンを試料に衝突させて、表面の元素をはじき飛ばしてその質量を検出するものである。これにより試料の構成元素を調べることができる。まるでシャベルで穴を掘るようにして深さ方向の分析ができる。金属、半導体、絶縁体試料中の不純物元素やその表面に吸着した元素も調べることができ、オージェ電子分光分析(AES)測定に比べて高感度で計測出来る点が特徴である。