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ナノ走査プロープ顕微鏡(SPM)

ナノ走査プロープ顕微鏡(SPM)
基本仕様
機種 JSPM-5200、(日本電子)
分解能 水平:0.1nm、垂直:0.01nm

装置の説明

走査プローブ顕微鏡(PM)はプローブ(探針)を試料に近づけて電子や原子間力を検出し、ナノスケールで構造を観察する顕微鏡である。金属、半導体、溶液、高分子材料、生体材料などの試料観察ができ、自動車産業、半導体産業、電子機器産業などに適用可能である。