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ナノ走査プロープ顕微鏡(SPM):詳細(活用事例)

ナノスケールの表面凹凸形状(粗さ)や摩擦力等を知ることができます。

表面凹凸形状(粗さ)分析例

下図は、高分子フィルム(PET)上に成膜された酸化物試料の表面状態を調べるため、SPMを使って表面形状を調べた例です。ナノスケール大の大きさをもつ粒子の形状を3次元的に見ることができます。 (北川工業(株)のトライアルユースによる成果から)

SPMにより観察された薄膜の表面形態の3次元表示(左: SiO2膜/PETフィルム、右:ITO膜/PETフィルム、分析領域:1×1µm)