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ナノ走査プロープ顕微鏡(SPM):詳細(利用者向け)

走査プローブ顕微鏡(scanning probe microscope; SPM)はプローブ(探針)を試料に近づけて電子や原子間力を検出し、ナノスケールで構造を観察する顕微鏡である。高分解能が得られ、原子や分子の観察も可能になる。本センターのSPMは大気圧上で使用するため、幅広い分野で使用することができる。

SPMでは主に、走査トンネル顕微鏡(scanning tunneling microscope; STM)あるいは原子間力顕微鏡(atomic force microscope; AFM)として利用可能である。STMは金属探針によって、導電性試料の表面を走査し、表面形状を得る。AFMはプローブとしてカンチレバーを用いる。この先端と試料表面の原子との間の反発力または吸引力を検出し、表面形状を調べる。それゆえAFMでは導電性だけでなく絶縁性の試料も測定対象となる。