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軟X線分析装置(SXES)

軟X線分析装置(SXES)
基本仕様
機種名 JXA-8230(日本電子)
分析元素範囲 WDS:(Be)*1/B~U、EDS:B~U
X線分光範囲 WDS分光範囲:0.087~9.3nm、EDSエネルギーレンジ:20keV
X線分光器数 WDS:1~5基選択、EDS:1基
最大試料寸法 100mm×100m×50mm(H)
加速電圧 0.2~30kV(0.1kVステップ)
照射電流範囲 10-12~10-5A
照射電流安定度 ±0.05%/h、±0.3%/12h(W)
二次電子分解能 6nm(W)、5nm(LaB6)*2 (W。D。11mm、30kV)
走査倍率 ×40~×300,000(W。D。 11mm)
走査像解像度 最大5,120×3,840
カラーディスプレイ EPMA分析用:LCD 1,280×1,024
SEM操作、EDS分析用:LCD 1,280×1,024

装置の説明

熱電子放出方式の電子線源と、軟X線領域に検出感度の高い分光器を有した元素分析装置です。そのため、リチウムやホウ素などの軽元素を含む材料の定性・定量・線・面分析等ができます。表面から深さ2~3µmまでの平均的組成を精度よく分析できます。