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飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)

飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)
基本仕様(Bi一次イオン銃使用)
機種名 PHI TRIFT V nano TOF(アルバックファイ)
無機材料での質量分解能 9,000M/Δm以上
有機材料での質量分解能 PET(m/z 104)にて 9,000M/ΔM以上
オプション Arガスクラスターイオン銃、Csイオン銃、Ar/酸素スパッタイオン銃、トランスファーベッセル

装置の説明

表面と吸着する原子状及び分子状の物質を静的に表面から引き離し、その分子量を同定します。Arクラスタービームを用いることにより有機物の深さ方向分析が可能となります。例えば、Liイオン電池の表面近傍のLiや他の不純物の吸着状態を観測するなどに利用できます。